一种低功耗化学气体传感器芯片、传感器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种低功耗化学气体传感器芯片，包括加热电极、敏感电极、烧结在电极上的敏感料，所述加热电极、敏感电极、敏感料是制备在玻璃基底上。所述的低功耗化学气体传感器芯片，是采用微电子工艺形制得的。本发明还提供了采用所述传感器芯片的化学气体传感器以及其制备方法。本发明的化学气体传感器，采用了利用微电子工艺制造的低功耗化学气体传感器芯片，提高了微结构的生产效率，图形尺寸准确可控，部件数量也成倍减少。另外，利用玻璃基底的热导率比较小的特点，可以使传感器在功能不变的前提下功耗减小50%左右。