用于光刻设备的对准信号处理系统及对准信号处理方法

摘要

本发明提供一种用于光刻设备的对准信号处理系统，包括：光信号解调器，用于将调制光强信号转换为电压信号，并输出SS信号；电压信号经第一模数转换器后进入数据处理单元；SS信号经第二模数转换器后进入数据处理单元；数据处理单元根据所述SS信号校准所述电压信号；还包括一时序控制器用于控制所述第一模数转换器和第二模数转换器，使所述电压信号与所述SS信号同步采样。本发明同时提供一种用于光刻设备的对准信号处理方法。