一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及切削力测量技术，具体是一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器及其制备方法。本发明解决了现有测力仪体积大、测量精度和灵敏度低、结构复杂、制造成本高的问题。一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器，包括基片；基片的上表面形成有薄膜绝缘层；薄膜绝缘层的上表面形成有四个薄膜电阻栅和八个薄膜电极；其中两个薄膜电阻栅均纵向分布于薄膜绝缘层的上表面，且该两个薄膜电阻栅的位置关于薄膜绝缘层的宽度中心线对称；另外两个薄膜电阻栅均横向分布于薄膜绝缘层的上表面，且该两个薄膜电阻栅的位置关于薄膜绝缘层的宽度中心线对称；四个薄膜电阻栅的两端与八个薄膜电极一一对应连接。本发明适用于精密、超精密切削加工。