公开/公告号CN102867751B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110190699.9
申请日2011-07-08
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人刘春元
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 09:29:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-09
授权
授权
2013-02-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20110708
实质审查的生效
2013-01-09
公开
公开
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