法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-19
授权
授权
2015-06-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q 60/24 申请日:20150205
实质审查的生效
2015-05-13
公开
公开
机译: 组合形状的探针,配备有该探针的原子力显微镜及其位移测量方法
机译: 独立纳米结构三维结构的原子力显微镜精密测量方法,具有原子力显微镜多个问题的纳米结构扫描装置和使用相同方法的扫描方法
机译: 扫描控制器探针,扫描探针显微镜以及由扫描控制器进行的探针的扫描控制方法,根据该扫描控制方法的测量方法