一种超高分辨率的原子力显微镜扫描探针及其测量方法

摘要

本发明尤其涉及一种超高分辨率的原子力显微镜扫描探针包括悬臂探针基底和带有镀层的针尖，镀层包括由外至里依次分布的保护层、铁磁层和非铁磁层，其测量方法是将样品固定在带有超高分辨率的原子力显微镜扫描探针的样品台上，入射激光照射在超高分辨率的原子力显微镜扫描探针上，镀层产生太赫兹到中红外的光谱发射并与样品相互作用，从样品处透射或者反射出光，利用原子力显微镜上的探测器收集并检测反射光或者透射光，通过纳米尺度的移动样品，得到纳米尺度的样品光学信息；本发明提供的超高分辨率的原子力显微镜扫描探针及其测量方法，对比传统的太赫兹/中红外光耦合技术，是在原位产生太赫兹/中红外光谱，对材料的本征物理性质有更好的描述。