一种在不锈钢基底表面制备绝缘膜的方法及其在湿敏电容元件中的应用

摘要

本发明属于电子元件的制备技术领域，特别涉及一种在不锈钢基底表面制备绝缘膜的方法及其在湿敏电容元件中的应用。所述方法如下：先部分水解正硅酸乙酯，再加入硅烷偶联剂和沸点高于乙醇的第二溶剂组分，制备二氧化硅基有机-无机杂化膜预聚体，然后在清洁的不锈钢基底表面制备二氧化硅基有机-无机杂化膜膜层。本发明提供的在不锈钢基底表面制备绝缘膜的方法可成功在不锈钢基片上制作一层绝缘层，用作湿敏电容元件的基底时，可以提高湿敏元件制造过程的成品率，同时减少元件的湿滞。