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公开/公告号CN102867726B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-08
原文格式PDF
申请/专利权人 兰姆研究公司;
申请/专利号CN201210276251.3
发明设计人 R·丁德萨;F·科扎克维奇;J·H·罗杰斯;D·特拉塞尔;
申请日2006-03-15
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:27:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-08
授权
2013-02-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20060315
实质审查的生效
2013-01-09
公开
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