机译:微波激发表面波等离子体半导体处理装置的FDTD方法分析
室蘭工業大学;
室蘭工業大学;
室蘭工業大学;
Muroran Institute of Technology;
Muroran Institute of Technology;
Muroran Institute of Technology;
FDTD; 表面波プラズマ; プラズマ; マイクロ波; FDTD; surface-wave enhanced plasma; plasma; microwave;
机译:微波激发表面波等离子体半导体加工设备中微波和等离子体的自粘分析研究
机译:微波激发表面波等离子体半导体加工设备中微波与等离子体的自洽分析研究
机译:微波激发表面波等离子体半导体加工设备中微波和等离子体的自粘分析研究
机译:微波化学和等离子体利用功率半导体微波源优势的应用
机译:半导体等离子体对微波的光控制方法研究
机译:小型航天器微波激发微等离子体推进器性能改进的数值和实验研究