弯曲压电式氧化锌纳米棒微电机(MEMS)振动传感器

摘要

本发明是将氧化锌纳米棒与微电机(MEMS)结构相结合，利用氧化锌纳米棒受力弯曲变形所产生压电效应和微电机中某部份能与另外部份产生相对运动，将振动机械能转换成电信号，达到振动传感的目的。与传统的振动传感器相比，其特点是体积小(在微米量级)，重量轻，不耗电或少耗电，灵敏度高。再加上氧化锌纳米棒的物理和化学稳定性好，所以该传感器可应用于广泛领域。