气体传感器用声表面波敏感器件

摘要

本发明涉及一种气体传感器用声表面波敏感器件。该气体传感器用声表面波敏感器件包括一个衬底、一个第一双端声表面波谐振器、一个与该第一双端声表面波声谐振器的谐振频率不同的第二双端声表面波谐振器。该衬底包括一个第一表面和一个与该第一表面相对设置的第二表面；该第一双端声表面波谐振器设置在该第一表面，该二双端声表面波谐振器设置在该第二表面；该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器具有一个交叠区域。本发明气体传感器用声表面波敏感器件的灵敏度较佳。