基于声表面波的DMMP气体传感器设计

摘要

神经性毒剂,如沙林(sarin)、梭曼(soman),是一类剧毒、高效、连杀性致死剂,可破坏神经系统正常传导功能.神经性毒剂作为有机化合物,与SXAF结构上的六氟异丙醇(HFIP)官能团有强氢键作用,可实现对神经性毒剂可逆的选择性吸附.将气敏薄膜材料与声表面波(SAW)技术相结合的声表面波气体传感器体积小、灵敏度高、响应快速、制作成本低.本文提出将六氟异丙醇基聚硅氧烷(SXFA)作气敏薄膜材料沉积于一种延迟线型声表面波传感器件的声波传播路径,并结合具有高稳定性的鉴相差分电路,以实现对神经性毒剂高灵敏快速检测.由于神经性毒剂毒性强,本文采用神经性毒剂模拟剂甲基膦酸二甲酯(DMMP)替代.