首页> 中国专利> 一种位于不同平面电路间的垂直电连接结构及其制作方法

一种位于不同平面电路间的垂直电连接结构及其制作方法

摘要

本发明涉及一种位于不同平面电路间的垂直电连接结构及其制作方法。所述垂直电连接结构包括第一绝缘层,所述第一绝缘层上具有多个通孔,所述通孔内设置有导体柱,所述导体柱的高度和通孔的深度相同,所述导体柱完全嵌入在第一绝缘层内。本发明位于不同平面电路之间的垂直电连接结构的生产成本低,通孔密度高,通孔位置精确,而且基板的材料和通孔中的导体材料选择范围也非常广。

著录项

  • 公开/公告号CN102646654B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-07-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN201110042195.2

  • 发明设计人 丹尼尔吉多蒂;于大全;王启东;

    申请日2011-02-22

  • 分类号H01L23/48(20060101);H01L23/52(20060101);H01L21/768(20060101);H01L21/60(20060101);

  • 代理机构11302 北京华沛德权律师事务所;

  • 代理人王建国

  • 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所

  • 入库时间 2022-08-23 09:26:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-28

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 23/48 登记生效日:20180808 变更前: 变更后: 申请日:20110222

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-08-28

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 23/48 登记生效日:20180808 变更前: 变更后: 申请日:20110222

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-07-01

    授权

    授权

  • 2015-07-01

    授权

    授权

  • 2012-10-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/48 申请日:20110222

    实质审查的生效

  • 2012-10-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/48 申请日:20110222

    实质审查的生效

  • 2012-08-22

    公开

    公开

  • 2012-08-22

    公开

    公开

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