公开/公告号CN102646654B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110042195.2
申请日2011-02-22
分类号H01L23/48(20060101);H01L23/52(20060101);H01L21/768(20060101);H01L21/60(20060101);
代理机构11302 北京华沛德权律师事务所;
代理人王建国
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所
入库时间 2022-08-23 09:26:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-28
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 23/48 登记生效日:20180808 变更前: 变更后: 申请日:20110222
专利申请权、专利权的转移
2018-08-28
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 23/48 登记生效日:20180808 变更前: 变更后: 申请日:20110222
专利申请权、专利权的转移
2015-07-01
授权
授权
2015-07-01
授权
授权
2012-10-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/48 申请日:20110222
实质审查的生效
2012-10-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/48 申请日:20110222
实质审查的生效
2012-08-22
公开
公开
2012-08-22
公开
公开
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机译: 土方工程机械铲斗的一个角,包括位于不同平面中的第一中间部分和第二中间部分;和切割工具;切削刀具系统。
机译: 线性轴驱动器的组件位于彼此垂直的行中,驱动器位于不同的平面中,并且组件的导向块由单个板组成,驱动器安装在单个板上
机译: 经纬仪或测速仪望远镜的水平和垂直设置装置,使用精确的水平和垂直设置驱动器,该驱动器位于不同平面中,并由同轴设置轴控制