公开/公告号CN102683182B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201110352647.7
申请日2011-11-07
分类号
代理机构隆天知识产权代理有限公司;
代理人姜燕
地址 中国台湾新竹市
入库时间 2022-08-23 09:26:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-10
授权
授权
2012-11-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20111107
实质审查的生效
2012-09-19
公开
公开
机译: 电子束写入数据的产生方法,电子束写入数据的产生程序以及电子束写入装置
机译: 电子束写入数据的产生方法,电子束写入数据的产生程序以及电子束写入装置
机译: 用于ULSI光刻的电子束直接写入系统,具有方便的发射图案旋转和增益校正,以及用于该系统的电子束直接写入方法