微晶非晶硅复合型薄膜晶体管及其制造方法

摘要

本发明涉及薄膜晶体管技术领域，提供了一种微晶非晶硅复合型薄膜晶体管及其制造方法，采用微晶层和非晶硅层复合而成的有源层，大大提高了器件电学性能，克服了现有的技术瓶颈，制备出了性能稳定且漏电流较低的底栅结构微晶非晶硅复合型TFT；同时大大缩短了其生产时间并简化了生产工艺，可有效适用于有源矩阵有机发光二极管显示器(AMOLED)及低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器(LTPS TFT-LCD)等领域。