基于非接触式霍尔效应测量石墨烯载流子迁移率的方法

摘要

本发明属于半导体技术领域，提供了基于非接触式霍尔效应测量石墨烯载流子迁移率的方法，采用入射电磁波激发的方式，在石墨烯中引入感应电流和霍尔电流，通过测量霍尔电流辐射出的电磁波，并与入射电磁波相比较，得出石墨烯的迁移率，再改变激发电磁波的投射位置，进行多点测量，并通过比较不同位置石墨烯迁移率，可得到石墨烯是否具有良好的一致性，该方法采用非接触式电磁波测量石墨烯迁移率，节省了测量石墨烯迁移率的时间，避免了传统方法制作金属探针对石墨烯性质的影响，可判定大量制备石墨烯是否具有良好的一致性，实用性强，具有较强的推广与应用价值。