公开/公告号CN102591624B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-06-03
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201110001624.1
申请日2011-01-06
分类号
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人丁纪铁
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 09:25:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-03
授权
授权
2014-02-05
著录事项变更 IPC(主分类):G06F 9/44 变更前: 变更后: 申请日:20110106
著录事项变更
2012-09-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 9/44 申请日:20110106
实质审查的生效
2012-07-18
公开
公开
机译: 探针台,包括探针台的探针系统以及控制探针台操作的方法
机译: 改进的变量排列方式是使用工作台,工作台或类似工具
机译: 改进的变量排列方式是使用工作台,工作台或类似工具