压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置

摘要

本发明公开了一种压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，包括样品杆杆身和样品载台，样品杆杆身的前端固定设置有左右两根压电陶瓷，两根压电陶瓷的前端均设置有导电光滑硬质体，样品载台上安装部位的左右两侧分别设置有弹性金属丝，样品载台通过弹性金属丝环抱夹紧安装在导电光滑硬质体上；通过在压电陶瓷上加载锯齿波电压使压电陶瓷发生时间不对称的上下振动，使样品载台发生以两个导电光滑硬质体的中心连线为转轴的旋转。本发明装置机械设计简单、结构紧凑，倾转量控制精确，大的倾转角由多步小角度倾转获得，每一步的倾转量由压电陶瓷的偏转量大小决定，精确可控。本装置可用于常规透射电子显微镜样品杆上，通用性强。