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基于对称变截面柔顺机构的3-PRR微动平台

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法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-01-26

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C 99/00 授权公告日:20150429 终止日期:20161210 申请日:20121210

专利权的终止
2015-04-29

授权

授权
2015-04-29

授权

授权
2013-06-05

实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 99/00 申请日:20121210

实质审查的生效
2013-06-05

实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 99/00 申请日:20121210

实质审查的生效
2013-04-10

公开

公开
2013-04-10

公开

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1. 基于对称变截面柔顺机构的3-PRR微动平台 [P] . 中国专利： CN103030103B . 2015.04.29
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