一种基于差式杠杆机构的柔顺微动平台

摘要

一种基于差式杠杆机构的柔顺微动平台，其特征在于包括基座、输出平台、两套差式杠杆缩放机构、驱动器，输出平台、差式杠杆缩放机构、驱动器设置在基座上，差式杠杆缩放机构包括1杠杆ABU、2杠杆CDE、3杠杆GHI，2杠杆CDE的E支点、3杠杆GHI的H支点通过柔顺铰链连接在基座上，在1杠杆ABU的支点B和2杠杆CDE的动力点C间设置有刚性杆BC。本实用新型与已有技术相比，具有结构简单，成本低，能够在低精度驱动器的驱动下获得高精度的位移输出，定位精度能够达到纳米级，具有广泛的应用前景的优点。