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含氟化合物、含氟高分子化合物、抗蚀剂组合物、顶涂层组合物和图案形成方法

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本发明的含氟高分子化合物是包含通式(2)所示的重复单元(a)的、质均分子量为1,000～1,000,000的树脂。该树脂可以适用于利用300nm以下波长的高能射线或电子束来形成图案的抗蚀剂组合物、和浸没式光刻中的顶涂层组合物，其特征在于拒水性、特别是后退接触角大。(式中，R

著录项

公开/公告号CN102449000B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-22

原文格式PDF
申请/专利权人中央硝子株式会社;
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申请/专利号CN201080024220.8
发明设计人森和规;萩原勇士;永盛将士;矶野芳美;成塚智;前田一彦;
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申请日2010-05-20
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址日本山口县
入库时间 2022-08-23 09:25:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-04-22

授权

授权
2012-06-27

实质审查的生效 IPC(主分类):C08F 20/22 申请日:20100520

实质审查的生效
2012-05-09

公开

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