法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C25D 3/00 授权公告日:20040407 终止日期:20150306 申请日:19970306
专利权的终止
2004-04-07
授权
授权
1997-12-31
公开
公开
1997-12-03
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 氧化锌薄膜的制造方法,半导体装置的基板的制造方法以及使用该膜的光电转换器的制造方法
机译: 使用氧化锌薄膜形成组合物和掺杂的氧化锌薄膜形成组合物的方法制造氧化锌薄膜,以及以此方式制备的抗静电膜,UV切割膜,透明电极膜
机译: 使用第III族盐和氧化锌薄膜的氧化锌薄膜的制造方法,该氧化锌薄膜具有为氧化锌薄膜提供优异的光学和电学性能