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公开/公告号CN102646627B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201210035521.1
发明设计人 李永辉;蔡超杰;吴佳芳;李正中;曲维正;桂东;
申请日2012-02-16
分类号
代理机构北京德恒律师事务所;
代理人陆鑫
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 09:24:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-01
授权
2012-10-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20120216
实质审查的生效
2012-08-22
公开
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