公开/公告号CN101974350B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-03-18
原文格式PDF
申请/专利号CN201010251370.4
申请日2010-08-09
分类号
代理机构
代理人
地址 225611 江苏省高邮市界首镇工业区
入库时间 2022-08-23 09:24:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-18
授权
授权
2012-08-29
实质审查的生效 IPC(主分类):C10J 3/16 申请日:20100809
实质审查的生效
2011-02-16
公开
公开
机译: 在整个镀铜晶片上实现均匀无应力电抛光的工艺方法
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