使用激光诱导热转移印刷工艺制造有机薄膜晶体管的方法

摘要

本发明提供有机薄膜晶体管(TFT)的制造方法，该方法包括：提供基板层；提供栅极层；提供介电材料层；提供有机半导体(OSC)材料层；提供源极和漏极层；并且其中使用激光诱导热成像(LITI)工艺沉积这些层中的一个或多个。优选地，该有机TFT是底栅器件并且使用LITI将源极和漏极沉积在介电材料层上方或者有机半导体层上。还优选地，可以在OSC材料与源极和漏极层之间提供掺杂剂材料，其中该掺杂剂材料也可以使用LITI沉积。还优选地，其中该掺杂剂可以是电荷中性掺杂剂例如取代的TCNQ或F4TCNQ。