低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法

摘要

本发明提供一种能够适当地检查低温泵的真空度保持状态的低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法。本发明的低温泵控制装置（80），所述低温泵控制装置控制具备冷却气体并使其冷凝或吸附的低温板（48）及容纳低温板（48）的泵容器（36）的低温泵的排气处理，其中，压力控制部（94）当检测到泵容器（36）内的压力下降至基准压力时停止真空抽取。真空度保持判定部（92）判定在第1测定时刻和第2测定时刻的泵容器（36）内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内。第1测定时刻通过对检测到泵容器（36）内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。