使用光学显微镜和粒子束显微镜的序列来显微检查对象

摘要

为了使用光学显微镜(10)和粒子束显微镜(12)的组合对对象(8)进行显微检查，使用了一种显微镜载物片系统(1)，该系统包括：导电支架(2)，其中至少一个窗口(3、17、18)配置于支架(2)中，以及其中支架(2)优选地具有用于光学显微镜(10)的标准玻璃显微镜载物片的尺度；显微镜载物片元件(7、19)，其设计成承载用于显微检查的对象(8)并且设计成使得该元件可以放置在窗口(3、17、18)上方；以及紧固装置(5、6、22、25)，其设计成将显微镜载物片元件(7、19)固定在窗口(3、17、18)上方。借助所述显微镜载物片系统(1)，可以使用分开的显微镜来分析对象(8)，而不必重定位对象。