基于条纹投影的光学显微镜自动对焦系统研究

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致谢

摘要

第一章绪论

1．1课题研究的目的及意义

1．2自动对焦技术的国内外研究现状

1．3课题来源与主要研究内容

1．3．1课题来源

1．3．2主要研究内容

第二章自动对焦显微镜的原理

2．1自动对焦技术的分类

2．1．1主动对焦法

2．1．2被动对焦法

2．2显微镜成像的基本原理

2．3自动对焦的原理

2．4本章小结

第三章自动对焦显微镜设计及仿真分析

3．1基于条纹投影的自动对焦显微镜设计

3．1．1基于条纹投影的自动对焦显微镜光路设计

3．1．2对焦设计及原理

3．1．3 10X无限远显微物镜设计

3．2清晰度评价函数选取

3．2．1清晰度评价函数的选择依据

3．2．2计算系统的缩放系数

3．2．3清晰度评价函数的实验对比

3．3．1仿真被测物

3．3．2可行性仿真结果

3．3．3误差分析

3．4本章小结

第四章自动对焦显微镜实验研究

4．1．1系统器件选型

4．1．2实验装置光学布局

4．1．3棱镜选型和线阵CCD设置

4．1．4测量程序编制

4．1．5系统成像实验

4．2光栅周期影响测试研究

4．2．1等周期数字光栅测试

4．2．2变周期数字光栅测试

4．3不同倍数物镜对焦测试

4．4本章小结

第五章系统设计组建和性能测试

5．1系统设计与组建

5．1．1系统技术参数

5．1．2系统机械结构

5．1．3系统组装与调试

5．2系统性能测试实验

5．2．1缺陷液晶玻璃基板测试

5．2．2分划板对焦测试

5．2．3光盘表面对焦测试

5．3系统特点分析

5．3．1被测物对对焦结果影响

5．3．2系统对焦速度分析

5．4误差来源分析

5．5本章小结

第六章总结与展望

6．1本文总结

6．2未来展望

参考文献

攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况