一种基于非相干成像边缘模糊的光学显微镜对焦稳定方法及系统

摘要

本发明公开了一种基于非相干成像边缘模糊的光学显微镜对焦稳定方法及系统。本发明由非相干光照射光阑，分别成像在光学显微镜焦面和相机传感器面附近，相机记录的光阑成像边缘径向强度传输至计算机拟合误差函数提取自变量系数作为模糊参数，由模糊参数对应显微镜物镜和样品间距的关系，获得显微镜焦面沿光轴的离焦距离和方向，实现离焦检测；通过将连接显微镜原样品台和待测样品的纳米平移台反向移动，实现样品的位置快速恢复到显微镜焦面，即实现离焦补偿。本发明可对目前广泛使用的高倍率显微镜提供实时、并行地检测和补偿离焦功能，保障其长时间的稳定使用，在微纳传感、精密成像及其生物化学探测领域中有广泛的辅助应用前景。