公开/公告号CN102762763B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;
申请/专利号CN201180010066.3
申请日2011-02-17
分类号C23C16/30(20060101);C23C16/50(20060101);C23C16/18(20060101);H01L21/205(20060101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人唐秀玲;林柏楠
地址 法国巴黎
入库时间 2022-08-23 09:22:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C16/30 授权公告日:20141231 终止日期:20190217 申请日:20110217
专利权的终止
2014-12-31
授权
授权
2014-12-31
授权
授权
2013-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/30 申请日:20110217
实质审查的生效
2013-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/30 申请日:20110217
实质审查的生效
2012-10-31
公开
公开
2012-10-31
公开
公开
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