使用脉冲序列退火方法将薄膜固相再结晶的方法

摘要

本发明实施例提供使用多个电磁能量脉冲将薄膜固相再结晶的方法。在一个实施例中，可使用本发明方法通过将多个能量脉冲传递至结晶晶种区域或层来退火整个基板表面或基板表面的选择区域以再结晶非晶层，其中在结晶晶种区域或层上沉积有所述非晶层，使得所述非晶层具有如下方结晶晶种区域或层的相同晶粒结构及晶体定向。