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焦点测试光罩、焦点测量方法、曝光装置、及曝光方法

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用以测量焦点资讯的焦点测试标线片具有外侧图案，外侧图案具有由延伸于Y方向的遮光膜构成的线图案，设于线图案的+X方向侧、线宽形成为较线图案狭窄的相位偏移部，设于线图案的-X方向侧、线宽形成为较线图案狭窄的透射部，设于相位偏移部的+X方向侧的透射部，设于透射部的-X方向侧的相位偏移部。能以高测量再现性且高测量效率测量投影光学系统的焦点资讯。

著录项

公开/公告号CN102597873B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-12-17

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社尼康;
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申请/专利号CN201080049094.1
发明设计人蛭川茂;近藤信二郎;
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申请日2010-11-04
分类号G03F1/44(20120101);G01B11/00(20060101);G03F7/20(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人寿宁
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 09:22:44

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-12-17

授权

授权
2012-11-28

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/44 申请日:20101104

实质审查的生效
2012-07-18

公开

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