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一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法

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本发明属于新型透明导电材料领域，具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法。本发明的方法是以未引入电极的太阳能电池片为基片，清洗后送入磁控溅射反应室，以纯Al为靶材进行磁控溅射得到20-300nm厚的Al薄膜，然后将基片置于气相沉积室内同时通入氧气和携带有Zn(CH

著录项

公开/公告号CN103022255B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-12-17

原文格式PDF
申请/专利权人沈阳工程学院;
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申请/专利号CN201210575920.7
发明设计人张铁岩;鞠振河;张东;赵琰;李昱材;
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申请日2012-12-27
分类号
代理机构沈阳东大知识产权代理有限公司;
代理人李运萍
地址 110136 辽宁省沈阳市沈北新区蒲昌路18号
入库时间 2022-08-23 09:22:40

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-12-17

授权

授权
2013-05-01

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20121227

实质审查的生效
2013-04-03

公开

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