以MEMS技术制造的半导体材料的集成三轴磁力计

摘要

本发明的实施方式涉及以MEMS技术制造的半导体材料的集成三轴磁力计。具体地，配置两个悬挂物体(1、3)，使其由沿相互横贯方向在磁力计平面中流动的相应电流(I)流过，并且电容耦合至下部电极(18b)。移动传感电极(11)由第一悬挂物体(1)承载，并且电容耦合至相应的固定传感电极(12)。第一悬挂物体(1)配置为：当在第一水平方向(X)中具有分量的磁场存在时，沿横贯平面的方向移动。第二悬挂物体(3)配置为：当在第二水平方向(Y)中具有分量的磁场存在时，沿横贯平面的方向移动。并且第一悬挂物体配置为：当在垂直方向(Z)中具有分量的磁场存在时，沿平行于平面并且横贯在第一悬挂物体中流动的电流的方向移动。