一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统与方法

摘要

一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统及方法。系统包括飞秒矢量光场产生系统、空间滤波组件、计算机和三维移动平台；在飞秒激光系器输出直线光路上，依次设置1/2波片、格兰激光棱镜、扩束镜和飞秒矢量光场产生系统：经加载全息相位板的反射式纯相位空间光调制器后的光路上设置4f系统，频谱面上设置空间滤波器，经空间滤波器透过的正负一级衍射光分别通过一1/4波片，并经Rochi光栅合成为一束激光。经空间滤波组件、电子光阑、聚焦透镜和三维移动平台将材料调节至焦点位置，其中空间光调制器、电子光阑和三维移动平台通过数据线与计算机连接。本装置结构简单，便于操作，可以制备多种图案的微孔阵列，提高加工效率。