公开/公告号CN102737966B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 南亚科技股份有限公司;
申请/专利号CN201110390811.3
申请日2011-11-25
分类号
代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司;
代理人江耀纯
地址 中国台湾桃园县
入库时间 2022-08-23 09:21:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-19
授权
授权
2012-12-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/265 申请日:20111125
实质审查的生效
2012-10-17
公开
公开
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