用于干涉测量系统的高速相移的设备和方法

摘要

描述了一种用于光束的高速相移的方法和设备。具有不同光学厚度的各区域的透明板由光束沿着延伸通过所述区域的入射路径照明。透明板可以被移动或者光束可以被操纵从而生成入射路径。离开透明板的光束根据光束入射到其中的区域而具有瞬时相位值。有利的是，相位值是可重复和稳定的，而与光束在相应区域内的入射位置无关，并且以高调制率的相位变化是有可能的。该方法和设备可以用于调制诸如干涉条纹投影系统中的一对相干光束的相位差。