应用于数字散斑干涉测量的相移器结构设计

摘要

针对传统基于压电陶瓷的相移器存在的反射镜偏转和测量误差问题,设计了一种应用于数字散斑干涉测量的相移器结构.通过双夹持臂的结构起到导向作用,能够直接减小相移过程中出现的反射镜偏转问题,进而有效降低了传统相移器由于反射镜偏转导致的相移误差,提高了相移器的工作精度.通过计算反射镜偏转所造成的测量误差,对传统相移器和所设计的相移器进行力学性能仿真分析和试验.试验结果表明,在相同条件下,相对于传统相移器结构,所设计的相移器结构可减少30％的相移误差,大幅提高了数字散斑干涉技术的测量精度.在数字散斑干涉测量中,所设计的相移器结构具有很强的实用性.