一种平面周期结构的测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种平面周期结构的测量装置及测量方法，该装置包括激光器、样品架、水平托盘、旋转台、自由旋转圆盘和光束角度测量元件，样品架固定于水平托盘的顶部，水平托盘的底部与旋转台连接，旋转台用于改变水平托盘的方位，旋转台的上表面上沿圆周设置有角刻度，自由旋转圆盘与旋转台同轴连接，光束角度测量元件固定于自由旋转圆盘上，优点在于利用激光器将其发出的激光入射到样品的待测表面上，然后通过光束角度测量元件测量衍射光束与样品的待测表面的法线的夹角，这样可根据衍射光束与样品的待测表面的法线的夹角推算出样品的周期尺寸，不仅测量精度高，而且快速，且由于仅使用了激光器以及光束角度测量元件，因此结构简单、成本低。