一种大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置与测量方法

摘要

本发明公开了一种大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置与测量方法。其测量装置包括小F数点光源会聚光源组件和高精密位置调整系统。测试过程中，固定大规模拼接探测器不动，开启大规模拼接探测器并进行信号实时监测，调整光源组件位置，使光源会聚于探测器焦平面的预定的视场位置，并精细调整位置将其在探测器上的响应信号达到最大，记录此时高精度位置调整系统的位置坐标，之后调整至探测器焦平面下一个视场位置点如是操作与记录，直至光源组件位置遍历覆盖探测器焦平面全视场范围，之后对高精度位置调整系统的位置坐标进行平面拟合处理，进而得到探测器焦平面的光敏面平面度。该方法原理简单、易操作。