扫描超声波显微镜同时测量薄层材料厚度、声速、密度和衰减的方法

摘要

本发明公开了一种扫描超声波显微镜同时测量薄层材料厚度、声速、密度和衰减的方法。其步骤包括：1）将薄层材料放置于基体材料表面，使超声波探头分别位于基体材料和薄层材料正上方，测得基体材料和薄层材料的超声波回波信号s₁(t)、s₂(t)；2）对s₂(t)进行基于维纳滤波和自回归谱外推技术的反卷积，得到信号h₁(t)，选定声波渡越时间的初始值；3）选取其他变量初始值，通过薄层材料反射系数频谱拟合，得出薄层材料的声阻抗、声波渡越时间和声波衰减系数的最优值；4）对s₁(t)+s₂(t)进行基于维纳滤波和自回归谱外推技术的反卷积；5）计算得出薄层材料的厚度、声速、密度和衰减。本发明可以实现对薄层材料进行四变量高精度同时测量，并解决了频谱拟合时的收敛域问题。