具有高Q值电感组件的半导体技术制造方法及其结构

摘要

一种具有高Q(Quality Factor)值电感组件的半导体技术制造方法是以多层回旋状导电层来制造一具有高Q值电感结构，其中在上述回旋状导电层间距中形成有空气隙(Air Gap)。上述多层导电层可降低电感本身的电阻，而具低介电常数的空气隙则可减少电感中的寄生电容。因此，本发明所制造之电感结构可有效增加电感的Q值。