法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-07-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 27/02 授权公告日:20140917 终止日期:20150523 申请日:20120523
专利权的终止
2014-09-17
授权
授权
2012-11-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 27/02 申请日:20120523
实质审查的生效
2012-10-03
公开
公开
机译: 具有单原子终止结构的离子源和电子源,具有单原子终止结构的尖端,气体场离子源,聚焦离子束设备,电子源,电子显微镜,掩模修复设备以及具有单原子终止的尖端的制造方法结构体
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