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一种用于真空喷雾特性研究的镀膜装置

摘要

一种用于真空喷雾特性研究的镀膜装置,由石英玻璃管构成的真空喷射室前端与安装有复合式真空规和各种引线法兰的真空门连接,后端通过放气阀CF法兰与抽气装置相接;两雾化喷头采用双流体感应充电气力式喷头,前面有带升降装置的喷嘴挡板;由四个烧杯和两个HPLC液相色谱泵组成的液体输送装置和高压氮气输送装置各自分两路与雾化喷头相接;由外置电磁铁控制基片在喷射室内的移动和取出、放入;由红外线加热管和硅橡胶加热器加热;测试装置由发射光源、CCD高速摄像机、PC机和温度检测装置组成。该装置结构简单,易于操作,直观性好,成本低;用其可实现对真空喷雾各项特性的测试和综合性研究,同时还可制备不同浓度比多基片聚合物功能梯度薄膜和叠层膜。

著录项

  • 公开/公告号CN102692332B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-08-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东北大学;

    申请/专利号CN201210191079.1

  • 申请日2012-06-11

  • 分类号G01M99/00(20110101);B05B5/03(20060101);B05B5/16(20060101);B05B15/00(20060101);

  • 代理机构21109 沈阳东大知识产权代理有限公司;

  • 代理人李运萍;范象瑞

  • 地址 110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号

  • 入库时间 2022-08-23 09:20:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-03

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 99/00 授权公告日:20140820 终止日期:20150611 申请日:20120611

    专利权的终止

  • 2014-08-20

    授权

    授权

  • 2012-11-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 99/00 申请日:20120611

    实质审查的生效

  • 2012-09-26

    公开

    公开

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