法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-27
专利权有效期届满 IPC(主分类):G01R 1/067 授权公告日:20040324 申请日:19981104
专利权的终止
2004-03-24
授权
授权
2004-03-24
授权
授权
1999-05-19
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1999-05-19
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1999-05-12
公开
公开
1999-05-12
公开
公开
查看全部
机译: 用于具有垂直探针的测试头的接触探针以及用于测试微结构电性能的相关测试头
机译: 带有界面的微结构测试头
机译: 用于测试微结构的设备,用于测试微结构的方法以及用于测试微结构的程序