法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-06
授权
授权
2012-03-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/00 申请日:20110617
实质审查的生效
2012-01-11
公开
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机译: 氧化物半导体薄膜表面覆膜保护层的质量评价方法及氧化物半导体薄膜质量管理方法
机译: 氧化物半导体薄膜,在氧化物半导体薄膜的表面具有保护膜的层叠体的品质评价方法以及氧化物半导体薄膜的品质控制方法
机译: 氧化物半导体薄膜的评价方法氧化物半导体薄膜的质量控制方法及用于该评价方法的评价要素及评价装置