双吸收层交替相移掩模衍射场的计算方法

摘要

本发明提供一种双吸收层交替相移掩模衍射场的计算方法，具体步骤为：步骤一、设定电磁场展开时的空间谐波数n；步骤二、将每一层光栅的介电常数进行傅里叶Fourier级数展开，其中对TM偏振光，通过对介电常数倒数进行Fourier级数展开；步骤三、针对TE偏振光和TM偏振光，求解每层光栅的特征矩阵，再利用电磁场切向连续的边界条件，获取TE偏振光所对应的衍射场。本发明针对TM偏振光，通过对介电常数倒数进行Fourier级数展开，改善了TM偏振光入射有损掩模光栅时收敛性，使得计算出的衍射场具有更高的准确性。