测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪

摘要

一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪，包括产生干涉光束的物光和参考光。物光是由激光光源发射的激光束经第三透镜和第二透镜的平行光束射到待测透明平板上后反射回的光束经第二透镜，经过第一分束器的反射后，透过第四透镜、第二分束器、第三分束器、第五透镜至光折变晶体，由光折变晶体返回再经第五透镜至第三分束器。参考光是由待测透明平板反射回来的激光束经过第二透镜，经过第一分束器的反射后，再透过第四透镜射到第二分束器上，由第二分束器反射的光束经第一反射镜、第七透镜、第六透镜和第二反射镜至第三分束器与物光相遇产生干涉。与在先技术相比，本发明在物光的光路上置有光折变晶体产生共轭光，使测量灵敏度提高了一倍。