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测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪

         

摘要

该专利是一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪。 该相位共轭干涉仪包括产生干涉光束,经第三透镜和第二透镜的平行光束射到街测透明平板上,而后反射回的光束经第二透镜和第一分束器的反射,再经过第四透镜、第二分束器、第三分束器、

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