真空吸附控制机构装置、薄膜粘贴装置、薄膜粘贴方法

摘要

本发明的目的在于提供一种结构简单并且能够高精度地将薄膜粘贴于被粘贴物的真空吸附控制机构装置。本发明的真空吸附控制机构装置的特征在于，包括：第一部件，在表面具有能够与减压源连接的多个吸附孔；和第二部件，被设置为能够与多个所述吸附孔接触，并且能够相对于所述第一部件进行相对移动，所述第二部件具有将与所述第一部件和所述第二部件的相对位置对应的数量的吸附孔与所述减压源连接的构件。